隨著我國空間科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，真空測量技術(shù)也得到長足進(jìn)步，已廣泛應(yīng)用在航空航天、電氣電子、石油化工等行業(yè)。特別是我國載人飛船、登月工程、火星探測等一系列國防新領(lǐng)域的飛速發(fā)展，對真空測量提出了更高的要求，相應(yīng)的高精度、高可靠性的真空計(jì)量校準(zhǔn)需求也應(yīng)運(yùn)而生。
真空系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置的設(shè)計(jì)組成
為滿足航天器熱試驗(yàn)常用真空計(jì)及標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)需要，研制了多功能真空校準(zhǔn)裝置。多功能真空校準(zhǔn)裝置可用于進(jìn)行熱偶真空計(jì)、壓阻規(guī)、電容薄膜真空規(guī)、潘寧規(guī)、熱陰極電離規(guī)等真空測量傳感器的校準(zhǔn)，同時(shí)也可以用于滲透型真空漏孔的校準(zhǔn)。
1、裝置概述
多功能真空校準(zhǔn)裝置主要由高真空校準(zhǔn)室、低真空校準(zhǔn)室/ 穩(wěn)壓室、真空抽氣系統(tǒng)、漏孔校準(zhǔn)系統(tǒng)、電氣控制及信號(hào)采集系統(tǒng)組成。
真空系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置的主要性能指標(biāo)：
極限真空度
高真空校準(zhǔn)室極限真空度9.3×10-8 Pa，下游室極限真空度1.1×10-8 Pa，低真空校準(zhǔn)穩(wěn)壓室極限真空度4.2×10-7 Pa。
2、校準(zhǔn)真空室動(dòng)態(tài)真空度穩(wěn)定性能
根據(jù)相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)對本裝置校準(zhǔn)范圍內(nèi)的校準(zhǔn)室在進(jìn)行動(dòng)態(tài)比對校準(zhǔn)時(shí)的真空度穩(wěn)定性能進(jìn)行檢測，從133kPa～9.5×10-5 Pa 范圍內(nèi)選擇20 個(gè)壓力點(diǎn)，每個(gè)檢測點(diǎn)停留5 分鐘，測試結(jié)果表明在133kPa～9.5×10-2 Pa 范圍內(nèi)，穩(wěn)定度可控制在2%以內(nèi)， 在9×10-2 Pa～9.5×10-5 Pa 范圍內(nèi)，穩(wěn)定度可控制在1%以內(nèi)。
3、系統(tǒng)不確定度分析
綜合考慮GP370 離子規(guī)的不確定度指標(biāo)和校準(zhǔn)裝置的固有特性，系統(tǒng)裝置標(biāo)準(zhǔn)不確定度為4.2%，數(shù)據(jù)處理引入的不確定度為0.5%，整個(gè)裝置的合成不確定度為4.3%， 擴(kuò)展不確定度為8.6%。
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